三フッ化ヒ素（さんフッかヒそ、）はヒ素のフッ化物で、化学式AsF3で表される無機化合物。無色の液体で、水と容易に反応する。半導体の製造などに使われる。
生成、性質 フッ化水素と三酸化二ヒ素の反応により生成される。 6HF\ + As2O3 ->2AsF3\ + 3H2O
分子構造は三角錐形で、気体の状態では、ヒ素とフッ素の間の結合距離は170.6pm、結合角は96.2°となっている Wells A.F. (1984) Structural Inorganic Chemistry 5th edition Oxford Science Publications ISBN 0-19-855370-6 。 非金属塩化物のフッ素化に使われるが、三フッ化アンチモンに比較すると反応性は劣る。
四フッ化ヒ素セシウム(Cs2AsF4)など、AsF4^-の陰イオンを含む塩を生成するNew alkali metal and tetramethylammonium tetrafluoroarsenates(III), their vibrational spectra and crystal structure of cesium tetrafluoroarsenate(III)Klampfer P, Benkič P, Lesar A, Volavšek B, Ponikvar M , Jesih A., Collect. Czech. Chem. Commun. 2004, 69, 339-350 。
フッ化カリウムとの反応により、七フッ化二ヒ素カリウムを生成する。これは AsF3分子とAsF4^-陰イオンとの相互作用を表すAlkali-metal heptafluorodiarsenates(III): their preparation and the crystal structure of the potassium salt, Edwards A.J., Patel S.N., J. Chem. Soc., Dalton Trans., 1980, 1630-1632, 。 KF\ + 2AsF3 -> KAs2F7
AsF2^+ と SbF6^- により五フッ化アンチモン(SbF5)を生成するFluoride crystal structures. Part XV. Arsenic trifluoride–antimony pentafluoride, Edwards A. J., Sills R. J. C. J. Chem. Soc. A, 1971, 942 - 945, 。
安全性 日本の毒物及び劇物取締法では毒物に該当し、発癌性がある安全衛生情報センター。
脚注